stever2018
製造65奈米晶片等級的設備就別拿出來獻寶"大突破 陸製DUV光刻機 可生產65奈米以下晶
40~90奈米是乾式DUV
DUV與DUVi是不一樣的
這個產量指的是DUVi
也就是生產28奈米到7奈米的光刻機
[浸潤式DUVi總量已過100台
年產超過40台,年產量持續上升]
DUVi是浸潤式
可以生產28奈米以下
ASML 2050i可以用於生產5奈米
SMEE 第二代DUVi也可以
不過目前消息是
中芯會用EUV來生產5奈米
SMEE 第一代DUVi用於生產
中芯28奈米到中芯第一代7奈米
SMEE 第二代DUVi用於生產
中芯第二代7奈米
SMEE浸潤式DUVi
第一代性能等於ASML 1980i
第二代性能等於ASML 2050i
大陸國產EUV
在2023年底驗收過
2024年下半年舖設生產線試產