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ASML強敵來了!陸「EUV關鍵技術」大突破

stever2018
製造65奈米晶片等級的設備就別拿出來獻寶"大突破 陸製DUV光刻機 可生產65奈米以下晶


40~90奈米是乾式DUV

DUV與DUVi是不一樣的

這個產量指的是DUVi
也就是生產28奈米到7奈米的光刻機

[浸潤式DUVi總量已過100台
年產超過40台,年產量持續上升]

DUVi是浸潤式
可以生產28奈米以下
ASML 2050i可以用於生產5奈米
SMEE 第二代DUVi也可以

不過目前消息是
中芯會用EUV來生產5奈米

SMEE 第一代DUVi用於生產
中芯28奈米到中芯第一代7奈米

SMEE 第二代DUVi用於生產
中芯第二代7奈米

SMEE浸潤式DUVi
第一代性能等於ASML 1980i
第二代性能等於ASML 2050i

大陸國產EUV
在2023年底驗收過
2024年下半年舖設生產線試產
john65537

Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)

2025-03-18 8:06
台積電官方照片
EUV製程不使用護膜
三星DRAM也無膜唷
兩大巨頭都實際運用了
有人盧小沒有膜會整天報廢光罩


Panchrotal

季節性情緒失調症候群 你有沒發現不愛吃菜都不能引用我的原話,只能對空氣回嗆?因為去年他貼照片被打臉是他自己弄錯後,就封鎖我[笑到噴淚]

2025-03-18 9:41
stever2018

台積電做得到,英特爾,三星做得到?ASML宣稱有這樣的功能,但是不用保護膜又能夠達到商業化的良率,很明顯....要把這個功能用好,難度很高,而且不一定7奈米到3奈米製程通用

2025-03-18 20:31
把清洗技術說成不需要貼膜
上面明明說有兩種
他們只是選擇不需要貼膜的去實驗乾式清洗效果

當然是實驗沒有貼膜的、有貼膜的膜一去掉不是就把異物去掉了嗎?
你一定完全不懂半導體製程
絕大多數都有貼懂嗎?. 你永遠也搞不懂為什麼有些要有些不要。


2020/07/09?
https://esg.tsmc.com/csr/en/update/greenManufacturing/caseStudy/36/index.html

多一樣華為也不會做的送你,是不是又多一樣了?
還是你也要說不需要光罩?



對了Apple 的A18 都有貼
台積電只是實驗無膜嗎
官方公告2018就用無膜EUV
已經節省了20億元效益
不是實驗唷


你拿2020年的來說故事?
已經告訴你了沒貼會產生很多問題、會影響生產效率、請問為什麼到現在三井一樣在生產?
不需要的話為什麼要生產?

當然是實驗沒貼的髒污去不掉的
你知道曝光久了光罩會怎樣嗎?慢慢去想我等你。
台積電三星都有無膜EUV實際量產

沒有誰是唯一
地球上還有美光 還有英特爾
十多家EUV要不要膜各憑本事
華為也早就提出無膜EUV專利

去年出包被打臉就封鎖我的人
他被抓包就封鎖對方
別人的錯就天天幫回憶
這有必要逐一解答他?
你壓跟不知道膜的做用
才會把清洗方式當成不需要貼膜、三井是笨蛋?傻傻的繼續生產?

沒貼曝久了會產生光罩報廢、原因自己慢慢找懂嗎。
什麼叫要不要貼各憑本事?你一開始不是說TSMC 不用貼?怎麼又改口了?
你到現在還是搞不清楚貼的目的.
記得一點光罩很貴!

惡意扭曲文章內容的人你自己慢慢玩吧。
去年不吃菜被抓包後封鎖我的事一提
立刻退出戰場要對方慢慢玩
平常追著別人的底氣哪去了

自己被抓包就封鎖人
真是往事不堪回首啊
shihan29

裝睡的人叫不醒!今年中華為的mate80上市,搭載了等效5奈米晶片的話,應該會讓不少人破防了吧!並不是要吹噓中國的科技實力,而是要正視中國的掘起,只要是人所造出來的東西,沒有什麼是做不到的。

2025-03-18 12:13
Panchrotal wrote:
台積電2019年量產EUV
ASML 2021年才量產光罩護膜

會不會是用大陸膜?




tteffuB 特肥吧

你就繼續跳針圓你的寶貝膜

2025-03-18 13:00
不吃菜菜小娃

tteffuB 特肥吧 就是笑你們不會生產[笑到噴淚][笑到噴淚]

2025-03-18 13:03
明明三星擴大採購、有人就刻意扭曲事實、

不過據業內人士25日透露,三星晶圓代工廠已決定向日本三井化學公司採購價值數十億韓元的EUV


光單薄膜。通過最終測試後,預計將應用於京畿道華城市的3奈米晶圓代工線“S3”進行量產。

3月10號的消息、不是4年前的[][]


為什麼要擴大採購?


有人去年說同一個機器可以Run完8吋後在Run12吋Wafer ?

請問這要如何討論?這是外星人科技嗎?我可是有證人喔。


貼的目的最主要是避免什麼?

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