taiwan2008 wrote:
中國國內傳言...(恕刪)
不是很難是假消息、01這充滿了太多違背物理定律的文章了、就算造岀來EUV又如何？請問光罩去哪裡生出來？別忘了那些材料及工具都被管制。
E-Beam Write別忘了只有日本人會生產、沒有它是打算用手繪光罩嗎？或許中國人可以吧畢竟有些粉紅說曝光不需要光罩的。
當年這設備剛裝好TSMC 南科某廠、日本人可是看得緊緊的。
https://www.jeol.co.jp/products/semiconductor/ebx/
前面有人貼的那篇Ushio 的文章各位可以大概看一下、要知道Ushio 及Osram（日本廠）在光源的製造上可是當年的龍頭企業及二把手為什麼這些公司不繼續LDP EUV技術？這麼大的利潤為什麼放棄了。
多少解為什麼光罩上要貼一張膜Pellicle保護。
請注意它可是有專利的、沒有它你是打算整天報廢光罩嗎？光罩可是很貴的、相關原物料只有日本生產。
接下來放WAFER 的Smif pod 及相關載具抱歉專利在美國人手上、專利技術搞定了嗎？
曝光完是打算用人力一片一片拿出來去顯影嗎？是打算製作0良率的Wafer嗎因為下一站也是用Smif pod
。PS: 對了千萬別忘記前二年討論的很熱烈的EUV 光刻廠、什麼長春光機所、山中湖湖底曝光造晶片、躲避美國的衛星偵查
。長春光機所二年就被拋棄了、這次換華為？
