從中國國產193nm ArF光源DUV光刻機的新聞看此工信部目錄的其他設備

工信部來源

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這個列表出現的設備，有很多設備都不是最尖端的，在01也能引起這麽多小綠綠破防實在是沒想到

我舉一個例子

這個列表中的大型運載火箭，它的近地軌道運載能力只有10噸。但是實際上最新的中國大陸大型運載火箭長征5B（CZ-5-504）其低軌運載能力是25噸。

可推測這個列表中的10噸運載能力的大型運載火箭為CZ-5-320，而最强的運載火箭CZ-5-504不在此目錄上。

一個193nm ArF光源非浸潤式DUV光刻機爲什麽能引起這麽多新聞，實在是搞不清楚，因爲這個性能指標只是ASML TWINSCAN 1460K的水準，2006~2008年的產品。

我們可以合理懷疑實際上中國大陸已經做出193nm ArF光源浸潤式DUV光刻機（對標ASML TWINSCAN 1980系列）才會將舊一代的設備列入目錄。