nomo333 wrote:
路透社這篇內容
幾乎都是假消息拼湊的
中國科學院長春光機所主導的LPP EUV
(2023年工程樣機完成驗收，2024年進入中芯試產)
規格與標準
跟ASML的LPP EUV完全不一樣
中國是多路多組人馬去開發 EUV , 你說 長春光機所 LPP 是另種EUV光源 的 , 且只是 EUV 光源 , 完整 EUV 還需蔡司特別反射鏡片 , DUV 是透鏡 , 但 EUV 要很特別反射鏡片 . 新聞提到 逆向 EUV , 比較大可能是 , 拆 ASML EUV , 東拼西湊去弄出一台 EUV , 先前不是 中國拆asml 機器 組不回去 , 找ASML 的人 , 說不定 中國原型EUV , 就拿ASML 其他機體去拚出來 , 只能拿來研究 . 真生產 , 還要自己開發EUV 出來. LPP 這路萬一不行 , 那就得抄 asml euv 的思路 . 美國禁止中國拿 EUV , 所以 中國只能先拚出一台 ..先拿來研究
EUV的光源系統有多條技術路線：
1. 同步輻射 SSMB
2. FEL
3. LPP
4. DPP
5. LDP
其中LPP和DPP是比較有商用可能性的，目前ASML的EUV光源系統採用的LPP技術
