一閃一閃晾雞雞~~~ wrote:據同學的說法,以前是...(恕刪) 乾蝕刻~製程就不提了設備PM還是要開Chamber,開Chamber就要設備去啊!我不太相信公司有時間讓你照標準流程來個cycle purge 10次後再開Chamber.公司有發豬鼻仔,我也從來沒看過有人帶過~開Chamber那味道,學長說久了就習慣了......