steve0608 wrote:
據我朋友講 EUV的耗電量嚇死人!!!
http://www.cw.com.tw/article/article.action?id=5084341
艾司摩爾至今尚未公布EUV機台的耗電功率，但世界第二大記憶體製造商、韓國的SK海力士曾在2009年的EUV Symposium表示，EUV的能源轉換效率（wall plug efficiency）只有0.02％左右。
EUV稱為「極紫外光」，但物理特性與一般常見的紫外光差異極大。
首先，這種光非常容易被吸收，連空氣都不透光，所以整個生產環境必須抽成真空；同時，也無法以玻璃透鏡折射，必須以矽與鉬製成的特殊鍍膜反射鏡，來修正光的前進方向，而且每一次反射仍會損失3成能量，但一台EUV機台得經過十幾面反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概只能剩下不到2％的光線。
這也是EUV機台如此耗電的主因之一。
