美光 導入極紫外光(EUV)設備,並設置「研發走廊」,為美光最先進的1γ(Gamma)製程技術節點量產做準備,屆時台灣將成為1γ生產基地,預計2024年量產
1X nm節點在16-19nm之間,
1Y nm在14-16nm之間,
1Z大概是12到14nm or 11~13nm。
1α更接近10nm
1β工藝 < 10nm
1γ(Gamma) 是多少nm?
1 delta
三星聽新聞說動到了EUV 機台, 但密度不如美光高. 美光 DUV 達到1y與1 α制程 , 三星則想用EUV 直接做 基於11nm的1γ制程 .

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