tecnai wrote:
請教iso兄兩個問題
1. 現在F怎麼處理? 設備端跟廠務端中間的小scrubber目前是否還存在, 效能?
2. 現在新的廠, 廠務是管到盤端還是管到設備端?
感謝
你指的是CxHyFz這類的氣體化物嗎?
所有的製程用氣體出來都有LOCAL SCRUBBER
濃度太高了,不能直接進排氣系統
F/Cl化物都不需要太擔心,溶鹼水,效能高
沒有觸媒老化或是粉塵堵塞的問題...
廠務都只有管到盤端.....
剩下的是HOOK UP跟設備溝通...
我離開廠務十年了耶......>.<
土城加藤鷹
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