現在 finfet 那幾nm 都只稱呼

BULK (平面) cmos 28nm 是末代 , 再來 22n, 下面 finfet , 俗稱 2nm 會 GAA




「Intel 20A」則改採埃米（1nm = 10Å）進行命名，並導入我們先前介紹過的RibbonFET（Nanoribbon









EUV 也要 多次曝光 .

ASML hyper NA EUV 2030?

ASML hi NA 0.5 EUV tsmc intel 三星都有

ASML EUV na 0.33 很多家用 波長13.5奈米

DUV +浸潤 : 193奈米的波長，它到了水之後，因為水的那個折射率是1.44，普通在真空是1，所以到了水裡，波長從193掉到134奈米，光的波長減短了，那它的解析度也就會增加了

林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來

DUV 中國目前做 DUV 是 248nm