討論群組

請教一個與氣體有關的物理問題

ahlfsri

ahlfsri
個人積分：0分
文章編號：5538177

0分

樓主

2008-04-01 21:18

因工作所需，須釐清一些基本觀念，希望板上能人異士不吝幫忙!!

我有一個高真空容器，底壓分別設定為50mT及200mT。現在要測定其氣體填充速率，容器入口由MFC控制流進固定流量。在此請教各位，底壓的高低會影響氣體填充速率嗎?

煩請版上大大不吝賜教，感激不盡!!

2008-04-01 21:18 發佈

文章關鍵字物理問題氣體

dolisa

dolisa
個人積分：13分
文章編號：5538877

13分

2樓

2008-04-01 22:09

不會.
因為有MFC控制氣體流率.
好奇問一下,你是在半導體業?亦或是光電業?

kevin8977
個人積分：0分
文章編號：5539846

0分

3樓

2008-04-01 23:10

聽起來有點像是tank灌液體或是空氣閥的計算問題。

bcheng1

bcheng1
個人積分：22分
文章編號：5539963

22分

4樓

2008-04-01 23:18

不會

氣體填充速率看的是一定時間內壓力的變化
而不是絕對壓力
但是
先決條件要chamber都沒有漏喔

免責聲明：本文所載資料僅供參考，並不構成投資建議，亦不代表本人真實意圖，本人對該資料或使用該資料所導致的結果概不承擔任何責任。

X

X