請教dry蝕刻高手 O2 ashing會使陶瓷掉落嗎?

0分

樓主

2018-06-26 23:54

請教dry蝕刻高手 O2 ashing會使陶瓷掉落嗎?
若會的話是否需要塗上氧極膜或是有其他的方式可改善?

2018-06-26 23:54 發佈

文章關鍵字蝕刻高手陶瓷 O2 ashing

4847分

2樓

2018-06-27 0:52

光阻劑的成分是什嗎?
可以說明清楚嗎?

愛迪生11 wrote:
請教dry蝕刻高手...(恕刪)

潛水500年浮起來還是綠蛆一樣綠,白鳥一樣白,藍狗一樣藍!沒辦法改變甚麼只好繼續潛水去!

13531分

3樓

2018-06-27 1:03

愛迪生11 wrote:
請教dry蝕刻高手...(恕刪)

一般來說
O2 plasma不會蝕刻silicon與Oxide
大多用來蝕刻有機物
或chamber clean...

健人就是腳勤

43905分

4樓

2018-06-27 3:49

NQQegg wrote:
一般來說
O2 plasma不會蝕刻silicon與Oxide
大多用來蝕刻有機物
或chamber clean...

一下冒出這麼多專業術語
嚇屬偶了
真人不露相
失敬失敬

13531分

5樓

2018-06-27 8:32

金銀俊 wrote:
光阻劑的成分是什嗎...(恕刪)

光阻分很多種
看是正光阻還是負光阻
還有對應的光源種類
如汞燈的G/I line
還是193nm波長
還有相對應的膜厚

不過光阻應不會用在樓主所說的磁磚吧...

健人就是腳勤

0分

樓主

2018-06-27 9:34

此製程為灰化作用，使用正形光阻，陶瓷板為氧化鈻，感謝大家的回答！