(問題)請問板上的大大有關濕式蝕刻的問題

依小弟目前所知,蝕刻劑分為乾式跟濕式兩種,想請教:

1.濕式蝕刻大多應用在哪些地方呢?

2.未來使用乾式蝕刻會取代掉濕式蝕刻嗎?

3.未來由於12吋晶圓廠的大量建廠(應該有八座吧),及八吋廠的開放西進,一來一往下,濕式蝕刻劑的使用量是會增加還是減少呢?

4.未來5~10年內,濕式蝕刻劑的總使用量應該會減少還是增加呢?

請各位大大在自己的領域上,能夠為小弟解答疑惑,或討論一下,謝謝大家.
2007-03-08 10:54 發佈
1.微機電還蠻常用到的
2.乾蝕刻也不是啥都可以蝕刻,而且速度也不比濕蝕刻來得快
3....
等下= ="
這該不會是你的作業吧......
http://leox243.blogspot.com/
回大大,小弟出社會工作已有多年,這絕對不是作業,只是小弟的工作相關,工作上的一點疑問,希望能討論討論?

謝謝大大的回答.
應該是看你要蝕刻哪種材料來決定哪種方式吧
要是只要吃乾淨 溼蝕刻比較省事吧
每次搞乾蝕刻實驗, 就很懶的在機台前面等抽真空
Photos: www.flickr.com/photos/panest
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