想請教有SEM經驗的各位大大
我家(公司)的SEM是JSM系列的,昨日在使用的時候碰到一個問題
我的Sample是Organic & glass當我放大到30000X
的時候image就會模糊不清,才30000X而已
請各位大大幫幫小弟解惑吧
目前類似的經驗如下：
WD調到5（極限就到5而以），調整短距離WD時要小心，避免樣品接觸到物鏡，污染了就麻煩了，你目前用的10還遠了點。
SPOTSIZE30~40差不多，如果你要兩三萬倍以上仍有較好的影像品質，可用在30，更低的話因畫面電子雜訊變更多，眼睛會稍微吃力點
你用的鍍金秒數有點少，可考慮鍍100~180秒，可在拿出來鍍一次，把之前鍍的時間累加上去。
因為你的還是非導電體，我目前遇到這類樣品，在鍍導電膜前會在欲觀察的樣品側邊再多貼上1~2條導電膠帶，鍍膜之後觀察影像會比不加導電膠好。
如果你還要作元素分析，鍍金更厚會導致能譜圖上會看到很強的鍍膜元素的訊號。
上還真是臥虎藏龍
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