如果就只有這些可選,當然就選製程了,因為用的化學品差不多,只是設備常常要換東換西,修理東西不免東西會噴出,這時是非常危險的,因為ETCH用的不是SIH4就是PH3,TCS/DCS...氣體,當然HCL/HF...也很多,EPI製程很多會燒的,因為他加熱來源是氫氣,原物料是PH3、DCS或TCS,後段SCRUBBER常常會炸,所以....就看著辦吧。待了15年,我終於離開晶圓廠了,萬歲。