什麼是靶材啊!

newmd7

0分

樓主

2010-03-13 15:39

什麼是靶材啊!
這個算是光電的産業麻!
有沒有相關資訊

謝謝

2010-03-13 15:39 發佈

文章關鍵字靶材

489分

2樓

2010-03-13 15:55

蒸鍍 or濺鍍時,要被鍍到被鍍物的材料,英文叫target.

257287

2556分

3樓

2010-03-13 17:13

allenmu318 wrote:
蒸鍍 or濺鍍時,要被鍍到...(恕刪)

應該是要被電漿打到

4分

4樓

2010-03-13 17:53

newmd7 wrote:
什麼是靶材啊!

真空蒸鍍所使用的材料
如:
sio2
ti3o5
tio2
al2o3
....
有很多的材料

257287 wrote:
應該是要被電漿打到

電漿的作用是素材表面粗化增加附著度!

5分

5樓

2010-03-13 17:59

newmd7 wrote:
什麼是靶材啊!

allenmu318 wrote:
蒸鍍 or濺鍍時,要被鍍到被鍍物的材料

我本來想回答王清峰的說......