NDL我沒記錯的話8千,約1 星期,台灣的研究生比較好命,可用計劃的貴儀費出,但好像現在要收一成的的費用!以前在學時送了十數片的光罩給NDL!此外,做Device的只用一層光罩?不會是做MEMS吧?有時MEMS也要數個光罩!在台念IC設計可是天堂,可以利用CIC去TSMC,UMC做不用錢,不過計劃要審核過才行!TSMC好像是1P4M,UMC是2P2M!此外,NDL最小線寬是2um,所以2.5um足夠!用L-edit或Autocad的DXF檔都可以!不過要自己轉成gds檔,這NDL往站上有資料可以參考!
rogerkuo2001.tw wrote:NDL我沒記錯的話8...(恕刪) 不是MEMS, 我有五層Layers, 我是要平均將它分怖在一片光罩上我做的是spintronic, 有點冷的主題mikkle wrote:記得位於南科的一家日...(恕刪) 我是用contact mode的mask aligner, uv light,我不知道SODA可以嗎?因為實驗室沒人用過我在翻書看看好了 ~~ thanks