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請教~關於半導體光罩訂購的廠商資訊

NDL我沒記錯的話8千,約1 星期,台灣的研究生比較好命,可用計劃的貴儀費出,但好像現在要收一成的的費用!以前在學時送了十數片的光罩給NDL!
此外,做Device的只用一層光罩?不會是做MEMS吧?有時MEMS也要數個光罩!
在台念IC設計可是天堂,可以利用CIC去TSMC,UMC做不用錢,不過計劃要審核過才行!TSMC好像是1P4M,UMC是2P2M!
此外,NDL最小線寬是2um,所以2.5um足夠!
用L-edit或Autocad的DXF檔都可以!不過要自己轉成gds檔,這NDL往站上有資料可以參考!
心的通透 並非沒有雜念 而是明白取捨
記得位於南科的一家日商「頂正科技」也有生產光罩…
或許可與他們聯絡看看…
不過一定要Quartz的嗎?soda的應該會較便宜一點才是

rogerkuo2001.tw wrote:
NDL我沒記錯的話8...(恕刪)


不是MEMS, 我有五層Layers, 我是要平均將它分怖在一片光罩上
我做的是spintronic, 有點冷的主題




mikkle wrote:
記得位於南科的一家日...(恕刪)


我是用contact mode的mask aligner, uv light,
我不知道SODA可以嗎?
因為實驗室沒人用過
我在翻書看看好了 ~~ thanks
[http://www.pbase.com/after_9]
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