LEOX wrote:連holder一起進...(恕刪) 這是比較不好的作法因為holder都要維持清潔比較好holder被鍍東西後要再清潔是很困難的事所以在嚴謹一點的單位這是不被允許的除非特殊因素如holder自備不然如果一台sem的holder被鍍的亂七八糟那台機器的狀況應該也好不到哪裡去
poucheng大大小弟是個上班族,因為公司要針對Defect的部份進行分析(元素),所以採購了SEM,而小弟剛好就是實驗室負責人因此承接了這份工作,若往後有不懂的地方請poucheng以及各位大大不吝賜教
我用過JEOL的FEG-SEM大概可以交叉測試看看比如說換sample拍金屬, 或是陶瓷看看有無這種情形加速電壓, 電流都可以調整看看因為不同材料有不同拍法拍的時候可以盡量找貼導電膠袋附近拍電子繞射散射會比較少我也拍過那種"很會飄的".....超難拍的另外機器是可以校正的比較好拍, 不會那麼霧