梁永祥 wrote:
band mura在...(恕刪)
band mura在5代廠以上的成因就不可能會是所謂拼接的問題造成!
其實現在的光罩的技術已經可以基板多大,就可以開多大,CF側目前至少是這樣的!而TFT呢,雖然不是整張製作,也不大可能在單片panel上分成好幾張光罩來曝,可能shut mura就掛了!至少都會是以單片以上為單位去開光罩的~
看到的band mura主要是因為曝光機台的光源是用步進掃描方式,因為機台的步進微震及透鏡對光線的扭曲而造成!
之前奇美及三星的新世代廠產能開出因為曝光機台問題而遞延就是這個問題!
這無解!在佳能的機台目前很頭通,只能以機台特性去綁路徑生產,以減輕這種問題!
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這小弟我可要解釋一下, CF光罩和TFT光罩精度很不一樣
所以Array側基板沒有"基板多大, 光罩就有多大的事", 您可以上Nikon的網站看液晶露光裝置
的規格, 您就會知道小弟所言不假~您大概從事的跟CF有關的行業
http://www.ave.nikon.co.jp/pec_j/products/fx.htm
第六世代最大對應基板1500*1850mm, 而光罩只對應到800*920mm
這個光罩大小約38"左右(16:9 TV換算), 一塊大基板可進行六面取曝光
即使最新的八代生產廠, 基板最大2200*2400mm, 光罩也只有1220*1400mm
Array側基板的露光寫真沒有"基板多大, 光罩就有多大的事"!
另外一家Canon露光裝置(全世界只有Nikon和Canon有生產TFT露光裝置)也是類似
您可以自行查閱網站~
因為52"和65"在Sharp尚無法在第八世代工廠量產, 初期確定是由六代廠產出
由於採取接續露光, 所以露光機Tact Time很長, 加上面積大材料貴, 所以價格不菲!!
怕Stitching接續露光會有Shot mura? 沒關係, 用很多方法可以消除, 例如Random shot之類的方法就能淡化
Nikon露光機和Canon露光機的機台(光學投影)構造很不一樣
Nikon是採取多塊透鏡接合而成的, Canon則是採用一大塊透鏡做成的
第七世代的光學透鏡幾乎達到天文級的透鏡技術, 成本超高且製作上非常困難
研磨的不好, 就會在露光時發生"鬼影"現象
但是Nikon機台就不會有這種問題(個別透鏡模組較小, 容易製作)
但缺點是各個透鏡的位置和overlap不容易調整到最佳化
容易發生lens mura...也由於Canon的機台構造特性不易做大
Canon就逐漸放棄更新世代的露光機研發
好啦! 小弟承認我就是LCD廠的Array技術人員....有意見就回我吧!
這台台灣訂價210張阿
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