網路很可怕 wrote:說不定早就有備案台積(恕刪) 兩種備案等於兩個專案、兩批工程師錢多也不是這樣玩的又不是出門看到下雨還有備案這麼簡單7轉 5可不是等比例縮小這麼簡單而已如果 AMD真的這樣搞那就代表他們真的很有錢
5nm蝕刻機已供貨臺積電,中國中微開始研發3nm蝕刻機,領先全球根據臺積電的工藝路線圖,2020年Q3季度就要試產5nm工藝了,而中微半導體的5nm蝕刻機已經打入臺積電的供應鏈。近日,中微半導體裝置公司董事長尹志堯博士提到了該公司的進展,指出中微半導體正在跟隨臺積電按照摩爾定律的發展走,後者的3nm工藝已經研發一年多了,預計2021年初就要試產,也就是說目前中微子已經在預研3nm蝕刻機。
蝕刻是光刻的下一道程序機台設備不一樣一般的流程是:氧化 – 光刻 – 刻蝕 – 拋光 – 離子植入 – 沉積 – 金屬化 - 測試。光刻負責轉移電路圖,後頭蝕刻才能在前者的基礎上再去把最上層(指定區域)給洗掉