臺灣大學攜手台積電、MIT發表最新研究,二維材料結合半金屬鉍能達到極低的電阻,接近量子極限,有助於實現半導體1奈米以下的艱鉅挑戰。這項研究已於《自然》期刊(Nature)公開發表。
目前矽基半導體主流製程,已進展至5奈米及3奈米節點,晶片單位面積能容納的電晶體數目,也將逼近半導體主流材料「矽」的物理極限,晶片效能無法再逐年顯著提升。
一直以來科學界對二維材料寄予厚望,卻苦於無法解決二維材料高電阻、及低電流等問題,以至於取代矽成為新興半導體材料一事,始終是「只聞樓梯響」。
此次由臺灣大學、MIT共同發表的研究,首先由美國麻省理工團隊發現在二維材料上搭配半金屬鉍(Bi)的電極,能大幅降低電阻並提高傳輸電流。
隨後台積電技術研究部門(Corporate Research)將鉍(Bi)沉積製程進行優化,臺大團隊並運用氦離子束微影系統(Helium-ion beam lithography)將元件通道成功縮小至奈米尺寸,終於獲得這項突破性的研究成果。
臺大電機系暨光電所吳志毅教授進一步說明,這項研究發現,在使用鉍為接觸電極的關鍵結構後,二維材料電晶體的效能不但與矽基半導體相當,又有潛力與目前主流的矽基製程技術相容,實有助於未來突破摩爾定律的極限。
吳志毅指出,雖然目前還處於研究階段,但該成果能替下世代晶片提供省電、高速等絕佳條件,未來可望投入人工智慧、電動車、疾病預測等新興科技的應用中,民眾都能受惠。
這項跨國合作自2019年展開,合作時間長達一年半。包括臺大、台積電、麻省理工學院等皆投入研究人力,共同為半導體產業開創新路。其中,兩名主要參與研究、論文發表的年輕博士,都曾是臺大光電所碩士生。
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