PHOTO 是當下當機的 wafer & SPC hold 異常的( MA or MSD 之類的 ) wafer 都 RWK 掉機台重新 check REMA,有跑的 RWK 整個 LOT當震當批加量 AA ( OVERLAY )後續 ADI 全檢晶面是否異常 or 是否對準不良機台加測 OVERLAY所以並不會有異常的 WAFER 出去阿