andy2000a wrote:新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪) ..搞不懂...破片有啥了不起...fab內天天破片..重點是破多少吧..而且地震有保險..且不算fab CP大家都趁天災 將有問題的趁機除掉....=.=
andy2000a wrote:新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪) 地震的影響主要是曝光的準度,曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事.
yamazaki1990 wrote:地震的影響主要是曝光的準度,曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事.(恕刪) 我都是地震當下在曝的lot加量overlay而已,跟老闆說要等所有layer跑完,會被打死吧別的module我不知道,不過在黃光我還沒遇過因地震而直接破片的,知道的反而都是因為當機要去拿片,而把wafer弄破的
我平常4",6"都帶著趴趴走...騎摩托車也是會遇到窟窿,wafer也從來沒破過~尤其是有些還做了濕蝕刻 & ICP deep etching也都頭好壯壯最好會因為四級搖晃就破。要破也要是因為被地震嚇到手殘,整盒扔出去才有機會
yamazaki1990 wrote:地震的影響主要是曝光的準度,曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事. 正解!!曝光一錯 良率Down....