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新竹強震 晶圓破片

新竹強震 晶圓破片

竹科廠區內也有2~4級不等震度,台積電、聯電官方發言管道回應指出,並無發生破片狀況,晶圓生產線尚未造成影響。


FAB 沒防震嗎??


不是才4級

2012-06-14 17:51 發佈

andy2000a wrote:
新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪)

如果你瞭解晶圓就不會那樣說
基本上不用破,直接良率下降

andy2000a wrote:
新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪)


..搞不懂...破片有啥了不起...
fab內天天破片..
重點是破多少吧..
而且地震有保險..且不算fab CP
大家都趁天災 將有問題的趁機除掉....=.=
哇!!這招我怎麼沒想到...趁地震報廢晶片..省開異常單解釋異常原因
zsman wrote:
..搞不懂...破片...(恕刪)

andy2000a wrote:
新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪)


地震的影響主要是曝光的準度,

曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.

直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事.

andy2000a wrote:
新竹強震 晶圓破片竹...(恕刪)


摔破比較快

震破 有點難想像

yamazaki1990 wrote:
地震的影響主要是曝光的準度,

曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.

直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事.(恕刪)


我都是地震當下在曝的lot加量overlay而已,跟老闆說要等所有layer跑完,會被打死吧
別的module我不知道,不過在黃光我還沒遇過因地震而直接破片的,
知道的反而都是因為當機要去拿片,而把wafer弄破的
http://taipei.pro | http://cool.info

blindshooter wrote:
我都是地震當下在曝的...(恕刪)


(強)震後機台不用重新 Calibrate?

不然看一個月後良率有沒有往下跑就知道了.

我平常4",6"都帶著趴趴走...
騎摩托車也是會遇到窟窿,wafer也從來沒破過~
尤其是有些還做了濕蝕刻 & ICP deep etching也都頭好壯壯
最好會因為四級搖晃就破。要破也要是因為被地震嚇到手殘,
整盒扔出去才有機會

yamazaki1990 wrote:
地震的影響主要是曝光的準度,

曝光一錯, 你要整數十道光罩做完才知有沒有對電氣特性造成影響.

直接破片機率不高, 除非地震強度到七級以上, 那還比較省事.



正解!!
曝光一錯 良率Down....
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