diffusionless wrote:
那nano鍍膜是用準分子雷射作的! ArF excimer laser
如果只是用CVD或PVD上去,那最多也應只是一層nano膜,最多也是奈米線之類,應不會產生這樣結構!(恕刪)
映像中ArF excimer laser這是加熱Target的紫外光源,鍍膜的方法好像叫Pulse Laser Deposition.
這種方法沉積效率很慢,大面積膜厚較難精確控制,但磊晶的品質很好,因為效率低,不利在工業量產.
所以天知道nano鍍膜是哪裡nano meter,水平爐管也可以成長幾十nano meter的p-Si,難道非用酷炫儀器才能搞定嗎?(稀有的儀器聽起來似乎會有神奇的魔力喔)
奈米柱狀物,很多時候是依賴材料的self assembly性質,像ZnO長奈米柱一樣,至於是哪種deposition反而沒那麼重要.
如果只能打出mm等級的話,哪如呵做微加工!
除非拿來做熱源,否則未何只能大功率?
你們那個是因為作熱源,所以功率才大!
像做近視手術,他用在改變角膜屈光度,而精密度為250nm,若是mm級的那還得了!
Nikon準分子雷射器掃描步進器的數值孔徑為0.92
內文搜尋

X